신품계측기 
Agilent/Keysight 4156C
Precision Semiconductor Parameter Analyzer / 반도체 파라미터 분석기
A+급 중고계측기
주요특징 (Product Features)
• 4개의 내장 고해상도 소스/모니터 장치, 2전압 소스 장치, 2전압 모니터 장치
• 새로운 공정 기술을 개발하고 1fA 및 0.2uV까지 측정하여 재료를 평가
• 전체 켈빈; 각 HRSMU에 대한 힘, 감지 및 보호 단자
• 준정적 커패시턴스 측정 대 전압 측정 수행
• 스크린 마커를 수동으로 조작하지 않고도 공정 매개변수를 자동으로 추출
• 초저누설 SMU로 누설 특성 측정
• 통합 펄스 생성기 및 선택기 스위치로 장치 특성화 자동화
• 내장된 스트레스 모드로 웨이퍼상 신뢰성 테스트 수행
• 그래픽 사용자 인터페이스로 포인트 앤 클릭 측정 수행
• Windows 환경으로 그래픽 데이터 분석 기능 제공
• 노브 스윕 기능으로 각 프로브가 접촉하는지 확인
• 대기 모드로 외부 전원 공급 장치 필요성 제거
• 트리거링 모드를 사용하면 동기화된 AC/DC 측정 가능
• 모든 데이터를 플로팅하고 분석할 수 있는 IBASIC 사용자 기능
Technical specifications (사양)
| 4155C | 4156C | ||
|---|---|---|---|
| SMU 측정 범위 | 전압 | 2 µV/200 V | 2 µV/200 V |
| 전류 | 10 fA/1 A | 1 fA/1 A | |
| SMU 측정 해상도 | 전압 | 2 µV | 2 µV |
| 전류 | 10 fA | 1 fA | |
| SMU 측정 정확도 | 전압 | 700 µV | 200 µV |
| 전류 | 3 pA | 20 fA | |
| SMU 펄스 폭 | 500 µs/100 ms | 500 µs/100 ms | |
| VMU | 전압 | 2 µV | 2 µV |
| 전류 | 200 µV | 200 µV | |
| VMU (차등) | 전압 | 0.2 µV | 0.2 µV |
| 전류 | 10 µV | 10 µV | |
| 듀얼 고전압 펄스 발생기 |
전압 범위 | ±40V | ±40V |
| 전압 범 | ±200 mA | ±200 mA | |
| 최소 펄스 | 1 µs | 1 µs | |
| 최소 펄스 주기 | 2 µs | 2 µs | |
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모니터 해상도 차이 | 모니터 해상도 차이로 인하여 색상 등 이미지가 실제와 상이한 경우 |
기타 불가사유 | ① 제품박스가 손상되거나 찢어진 경우 ② 고유팩 포장을 분리하거나 훼손하였을 경우 ③ 렌즈에 이물질 및 지문등의 흔적이 남은 경우 |
<기타 불가 사유 참고 이미지>
| |
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